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TL1200-S-C 预加热滑竿式CVD系统

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此款CVD系统前端配有可加热到1000℃的预加热器,辅助二维材料蒸发,后端为双温区管式炉,温度控制精确,操作简便。并配质量流量计供气系统和真空系统,可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量,对于生长MoS2湖北快3走势图等二维材料非常实用,重复性好。

TL1200 管式炉

 

 

型号

TL1200-C-I  

TL1200- C-II  

 TL1200-C-III

TL1200-C-IV

预加热器

额定温度:800℃

最高温度:1000℃

最快升温速率:≤30℃/min

湖北快3走势图推荐升温速率:≤15℃/min

控温方式:智能化30段可编程控制

工作电压:AC220V

额定功率:1.2KW

控温精度:±1℃

加热元件:电阻丝

 功率

3.5KW

3.5KW

3.5KW

5KW

炉管

 石英管:60/80/100/150*1000mm(管径可选)

两边各放置一个炉塞,炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射,必须在加热前放置在炉膛的正确位置

 

 外形尺(LXDXH)

580X370X540

580X420X590

580X420X590

580X440X610

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

进口瑞典Canthal  A1 电阻丝   点击进入资料下载

控制方式

 

 采用宇电程序控温仪表(标配)

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时。

主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

湖北快3走势图(更换进口仪表,需要另外付费,选购)

                                                        

FP93控温仪表                          欧陆仪表                   触摸屏仪表

(日本岛电)

控温模式

智能PID

断偶保护和显示

过温保护

过流保护

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

1200 ℃

额定温度

1100 ℃

升温速率

湖北快3走势图≤30 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤15℃/ Min

热电偶型号

K  型 

加热段长度

440mm

电器认证

四周表面温度

湖北快3走势图≤45 ℃

阀门和法兰

 

 

GX供气系统主要参数

 

质量流量计

量程和气体

湖北快3走势图  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型)

耐压

3MP

流量控制精度

湖北快3走势图±1.0%F.S

最大工作(使用)压力

0.3MPa

线性

湖北快3走势图±0。5%F。S。

重复精度

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0。1~0。5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力真空表表

-0。1~0。15MPa    0。01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

湖北快3走势图 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽气系统

方案一或方案二任选一个

 

 

 

电源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽炉管真空度可达

 10 -1Pa

真空挡板阀

 KF25

VRD-8真空泵 

(方案一)

型号

VRD-8

极限分压强

5X10-2 Pa

进排气接口

 KF25

电机转速

1440RPM

抽气速率

 2.2L/S

电机功率

0.4KW

Preiffer ACP15无油多级罗茨泵

 

(方案二)

型号 ACP15
电源  AC100-240   50/60HZ
功率 450W
重量 25KG
最高氦气漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
抽气速率 14  m3/h
极限压强 0.02Torr
进、排气接口 KF25

电阻真空计

(方案一)

   型号

ZDR-1

   功率

25W

湖北快3走势图  真空度测量范围

0.1-10 Pa

湖北快3走势图   电阻硅

ZJ-52T

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湖北快3走势图瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷电容真空计

(方案二)

 

 

 

   

 

     型号

PCG554

  输入电压

 24V  1A DC(配有220V变压器)

真空计接口

KF16

数字显示

数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

产品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体,包括混合气体,测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组(选购)

(方案一或方案二任选一个)

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

真空挡板阀

KF40

机箱尺寸

湖北快3走势图600X600X600

分子泵

(方案一)

 

湖北快3走势图 分子泵型号

  FJ620

  输入电压

 380V

  分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S(对空气)

  600

分子泵极限压强(Pa)

6×10-7

冷却方式

 水冷

冷却水压(MPa)

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃

环境温度

0~40℃

建议启动压强

<100pa

分子泵前级真空TRP-24

(FJ620分子泵必须要配此前级泵)

(方案二)

  

功率

0。75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率(L/S)

6

极限压强

4X10 -2Pa

 

 

德国Pfeiffer真空泵

(方案二)

 

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m 3/ h

抽气速率(N2)

33L/S

 

复合真空计

复合真空计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

湖北快3走势图 真空计测量范围

10-5 -10 Pa

湖北快3走势图 保修期  

一年保修,终身技术支持

特别提示:1。耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。

             2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

 

注意事项

1.炉管内气压不可高于0.02MPa

2。由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0。02MPa

3.当使用的炉管为刚玉管时,炉体温度高于1500℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当

4。进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击

5.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚

7.MoSi2加热元件不得长时间在在低温下(400℃-700℃)使用,否则将可能损坏加热元件

 

这套CVD系统带有预热系统,由预热系统+供气系统+管式炉+抽气系统 ,最高温度可以达到1200度加热区间可以是单温区,极限真空可以达到10-1湖北快3走势图Pa,供气系统是流量调节可以是4路质子流量计,

 

 

这款管式炉以进口电阻丝瑞典(Canthal)为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。

康泰尔电阻丝资料下载

 

 

1、瑞典Kanthal A1 电阻丝

                                    

           

        Kanthal A1 原丝                        国产电阻丝炉膛                             VS                            进口电阻丝炉膛

 

(1)、表面温度高可达1420

(2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。

(3)、Kanthal电阻丝资料下载

(4)、Kanthal电阻丝网站:www.kanthal.com

(5)、电阻均衡、温场均衡性好

 

 

                                                                                    湖北快3走势图                                                  

大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝                     Kanthal  A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡

有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小                                          温场效果好                 

 

2、安装有空气开关和漏电保护器:

当电路过流或漏电时,空开会自动断开。

 

3、可以与电脑连接

该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出

 

 

4、炉膛

 

     

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

2、采用日本技术成型。

3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

4、采用4周加热,温场更加均衡

 

5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器)

 

 

6、不锈钢支撑架

       

 

7、认证

     

 

8、法兰

                                                    

铰链式法兰(选购)           可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购)                 水冷法兰(选购)

                                

 

 

TL1200-CVD系统标配

 

描叙

数量

图片

TL1200管式炉

1 套

                     

石英管

1根

不锈钢法兰

1 套

 

不锈钢炉钩

1 个

氧化铝炉塞

1对

高温手套

1 双

氧化铝坩埚

1个

K型热电偶 1个

485转换接口和软件(选配)

1 套

说明书

1本

 

法兰支撑架

1 对

                                            

供气系统

 

1台
VS-0.1抽气系统 1台
卡套 4个                         
波纹管 1支                          
真空挡板阀 1个                     
钢瓶接头(N代表路数) N个                  
阀门接头 2                              
聚四氟乙烯管(N代表路数) NX5                         

 

 



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